德國PI (Physik Instrumente)向壓電工作臺

：PI (Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運(yùn)動和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運(yùn)動和定位的成品子系統(tǒng)。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造
醫(yī)學(xué)工程
生物技術(shù)
工廠工程
表面計(jì)量
天文學(xué)

德國PI (Physik Instrumente)向壓電工作臺

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺

§ 行程為50至1800微米

§ 分辨率達(dá)0.1納米

§ 定位精度 0.02 %

§ 帶電容式傳感器的直接計(jì)量

§ X、XY、Z和XYZ型

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。 它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來大精度

運(yùn)動直接在運(yùn)動平臺上測量，*不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)jia的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應(yīng)控制。

德國PI (Physik Instrumente)向壓電工作臺