Physik Instrumente壓電陶瓷納米定位器

：PI (Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領(lǐng)域的解決方案供應商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器

·         X和Y向上的行程達100微米×100微米

·         電容式傳感器使分辨率達0.1納米

·         帶直接驅(qū)動器的高速版本

·         可提供真空兼容和非磁性版本

·         并聯(lián)運動實現(xiàn)更高精度和動態(tài)

·         導向誤差主動補償?shù)牟⑿杏嬃?/span>

·         零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)

·         50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應用

Physik Instrumente壓電陶瓷納米定位器

應用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         表面測量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操縱

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         高運動平面度和直線度的納米定位

訂購信息

帶直接驅(qū)動器

P-733.2DD 高動態(tài)精密XY向納米定位系統(tǒng)，30 微米 × 30 微米，直接驅(qū)動，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

P-733.2CD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器