PI-P-915KWEF壓電六足位移臺

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領域的全球解決方案供應商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

·         負載能力高達1500克

·         位移為1納米/0.07微弧度

·         行程范圍達70微米

·         電容式傳感器可實現(xiàn)動態(tài)掃描和精密定位

高動態(tài)參考級六軸定位系統(tǒng)

六自由度并聯(lián)運動設計使其比串聯(lián)運動系統(tǒng)更加緊湊、更具剛性，動態(tài)范圍更大，無移動電纜：更穩(wěn)定、摩擦更小。

帶高剛性和高諧振頻率的壓電陶瓷促動器直接驅動器可實現(xiàn)動態(tài)定位。

大功率實時數(shù)字式控制器控制驅動軸

電容位置傳感器

具有亞納米精度、大帶寬和高穩(wěn)定性的直接、絕dui位置測量

應用

轉臺軸向振擺、同心度和平穩(wěn)度的動態(tài)優(yōu)化。防振，精調

Order Information

P-915KWEF Piezo Hexapod for Active and Dynamic Correction of Angular Errors of Rotation Stages

PI-P-915KWEF壓電六足位移臺